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申请/专利权人:上海芬勃纳米科技有限公司
摘要:本实用新型公开了一体式派瑞林涂层设备,属于真空镀膜领域,该一体式派瑞林涂层设备包括主箱体、固定安装在所述主箱体一端的沉积箱、固定安装在所述主箱体远离所述沉积箱一端的真空泵组件以及安装在所述真空泵组件与所述沉积箱之间的真空管,所述沉积箱内设置有喷淋组件,所述沉积箱内固定安装有加热管,所述沉积箱内固定安装有底板。该一体式派瑞林涂层设备结构简单、使用方便,通过设置立板与翻转机构,利用电动推杆和相关连接结构,设备可以实现自动翻转材料,使其在完成一侧涂层后能够方便、迅速地进行翻转,从而实现另一侧的涂层操作,提高了操作效率和生产速度,同时夹持组件的使用确保了材料在镀膜时更加的稳定,使用更加的方便。
主权项:1.一体式派瑞林涂层设备,包括主箱体1、固定安装在所述主箱体1一端的沉积箱11、固定安装在所述主箱体1远离所述沉积箱11一端的真空泵组件12以及安装在所述真空泵组件12与所述沉积箱11之间的真空管13,所述沉积箱11内设置有喷淋组件111,所述沉积箱11内固定安装有加热管112,其特征在于:所述沉积箱11内固定安装有底板2,所述底板2上对称设置有立板21,所述立板21上设置有翻转机构22;所述翻转机构22包括铰接在所述立板21上的连接杆221、固定安装在所述底板2上的导向框222、滑动安装在所述导向框222内的传动板223以及铰接在所述连接杆221远离所述立板21一端的翻转板224,所述底板2上固定安装有一端与所述传动板223固定连接的电动推杆225,所述传动板223远离所述电动推杆225的一端与所述翻转板224铰接。
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