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申请/专利权人：南亚科技股份有限公司
摘要：一种测量机台包含光学桌、显微镜、工作台以及两探针。显微镜位于光学桌上方且具有镜头。工作台卡合于光学桌上及显微镜的镜头下，且配置以接收电子装置，其中电子装置具有裸露的半导体芯片，且显微镜的镜头位于半导体芯片的正上方。两探针位于光学桌上方，配置以电性连接半导体芯片。由于在测量机台与半导体芯片的故障侦测方法中，使用了光学桌、工作台跟两探针，因此测量机台的体积可大幅减小，也减少了其成本。并且由于测量测量信号的过程是直接测量电子装置的半导体芯片，单独测试半导体芯片时无法被测量出的噪声便可被侦测出来，并且操作方式简单，可以广泛用在产品失效分析之中。
主权项：1.一种测量机台，其特征在于，包含：光学桌；显微镜，位于该光学桌上方且具有镜头；工作台，卡合于该光学桌上及该显微镜的该镜头下，且配置以接收电子装置，其中该电子装置具有裸露的半导体芯片，且该显微镜的该镜头位于该半导体芯片的正上方；以及两探针，位于该光学桌上方，配置以电性连接该半导体芯片。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南亚科技股份有限公司 测量机台与半导体芯片的故障侦测方法
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