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申请/专利权人：三星电子株式会社
摘要：一种传感器装置包括：下衬底；上衬底，其设置在下衬底上，由与下衬底的材料不同的材料形成，并且包括设置在不同的位置中的多个光接收区域；多个光学构件，其设置在下衬底与上衬底之间，并且被构造为提供在形成在上衬底上方的空间中的等离子体中生成并且进入多个光接收区域的光的行进路径；光谱传感器，其被构造为检测通过多个光学构件中的每一个接收的预定波段中的光的强度；控制器，其被构造为通过将原始数据与多个光接收区域中的每一个进行匹配来生成包括根据波段的光的强度的原始数据。
主权项：1.一种传感器装置，包括：下衬底；上衬底，其设置在所述下衬底上并且包括光接收区域；光学构件，其设置在所述下衬底与所述上衬底之间的空间中，所述光学构件包括：光接收光学系统，其被构造为接收进入所述光接收区域的光，并且在与所述下衬底的上表面平行的方向上反射接收的光，以及光导，其被构造为引导从所述光接收光学系统反射的光；选择元件，其设置在所述空间中，所述选择元件被构造为选择性地输出由所述光学构件的所述光导引导的光；以及光谱传感器，其设置在所述空间中，所述光谱传感器包括波长选择器和光学检测器，其中，所述光谱传感器被构造为将来自由所述选择元件输出的光的波段中的光提供到所述光学检测器，其中，所述光学检测器被构造为检测所述波段中的光的强度，并且其中，所述波长选择器包括等离子体激元滤波器和栅格结构中的至少一个。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三星电子株式会社 传感器装置和使用该传感器装置的半导体处理设备
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