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申请/专利权人：合肥综合性国家科学中心能源研究院(安徽省能源实验室)
摘要：本发明涉及ECR离子源应用技术领域，尤其涉及一种紧凑型可冷却正高压ECR离子源系统。其技术方案包括微波馈入结构，所述微波馈入结构由微波波导和安装于微波波导底部用于传导微波波导相应功率微波的陶瓷窗组成；等离子体腔室，抵接于所述陶瓷窗的底部用于接收所述陶瓷窗传导的微波，所述微波波导和等离子体腔室通过法兰组件连接，法兰组件包括上法兰和下法兰，上法兰上开设有微波波导连通的波导馈入窗，上法兰上开设有通道预留槽。本发明具有整体结构紧凑、性能高效的特点，解决了高压馈入绝缘、系统整体真空以及产生高能等离子体、二次电子和微波功率馈入的热量影响问题，可以满足强流、工作要求较小尺寸离子源的需求。
主权项：1.一种紧凑型可冷却正高压ECR离子源系统，其特征在于，包括：微波馈入结构，所述微波馈入结构由微波波导（1）和安装于微波波导（1）底部用于传导微波波导（1）相应功率微波的陶瓷窗（4）组成；等离子体腔室（8），抵接于所述陶瓷窗（4）的底部用于接收所述陶瓷窗（4）传导的微波。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥综合性国家科学中心能源研究院(安徽省能源实验室) 一种紧凑型可冷却正高压ECR离子源系统
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