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申请/专利权人：先进微晶圆私人有限公司
摘要：公开的实施例涉及一种热光移相器以及使用该热光移相器调节强度调制的速度和效率的方法。该热光移相器包括在基板，基板的一部分内定义至少一个沟槽，以及形成在基板上方的埋入氧化物BOX层。BOX层沿着基板的长度设置。该热光移相器包括设置在BOX层上以引导输入信号的波导，基板在波导的相对两侧部分向外延伸。该方法包括由热光移相器接收输入信号，调节施加到热光移相器的加热器上的电压，以及传输来自热光移相器的输出信号。
主权项：1.一种热光移相器，包括：基板，定义至少一个沟槽；BOX层，形成在所述基板上方；波导，设置在所述BOX层上方以引导输入信号；以及加热器，位于所述波导上方，其中所述加热器为所述波导提供热量；其中，每个沟槽包括位于所述波导的两侧上的两个孔，并且被配置为隔离散热。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先进微晶圆私人有限公司 部分悬浮结构的热光移相器
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