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申请/专利权人：东北林业大学
摘要：一种具有二维角度测量调整的大量程调焦系统，涉及光学精密测量技术领域。实验台上方安装二维电动旋转位移台，测量传感器安装在二维电动旋转位移台上，激光器发射平行偏振光经过扩束器和分束镜分为偏心光束和同轴光束，同轴光束通过偏振分光镜反射后经过14波片，与偏心光束共同经过主物镜聚焦于被测物体表面，偏心光束镜面反射经过主物镜后通过反射镜进行反射，之后通过探测物镜聚焦在CCD面阵探测器上，同轴光束原路反射经过主物镜后，经14波片再透射通过偏振分光镜作用在四象限探测器上。能够同时进行角度测量调整以及更好的进行Z轴位移变化的测量，对光路进行多次利用降低了元件的数量，有助于控制系统的尺寸，更好的集成化。
主权项：1.一种具有二维角度测量调整的大量程调焦系统，其特征在于：包括实验台1、二维电动旋转位移台2以及测量传感器3，所述实验台1上方安装二维电动旋转位移台2，所述二维电动旋转位移台2能够绕X轴和Y轴二维旋转运动，所述测量传感器3安装在二维电动旋转位移台2上，测量传感器3包括分束镜5、激光器6、扩束器7、主物镜10、探测物镜11、CCD面阵探测器12、反射镜13、14波片14、偏振分光镜15和四象限探测器16，所述激光器6发射平行偏振光先经过所述扩束器7进行扩束后再通过所述分束镜5分为偏心光束8和同轴光束9，所述同轴光束9额外通过所述偏振分光镜15反射后再经过所述14波片14，与所述偏心光束8共同经过所述主物镜10聚焦于被测物体4表面，其中，偏心光束8经过被测物体4镜面反射为偏心反射光束17再次经过主物镜10后通过所述反射镜13进行反射，之后通过所述探测物镜11聚焦在所述CCD面阵探测器12上，而同轴光束9经过被测物体4原路反射再次经过主物镜10后，经14波片14再透射通过偏振分光镜15后作用在所述四象限探测器16上。
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百度查询： 东北林业大学 一种具有二维角度测量调整的大量程调焦系统
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