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申请/专利权人:宁波诺丁汉大学;诺丁汉大学卓越灯塔计划(宁波)创新研究院
摘要:本发明公开了基于内部供热生产多晶硅的气固流化床,涉及多晶硅生产技术领域;为了解决现有气固流化床生产多晶硅过程中大量的多晶硅在高温壁面沉积,降低传热效率,阻碍连续化生产的问题;也为了解决现有气固流化床生产多晶硅技术的工业放大问题;气固流化床具体包括流化床壳体,所述流化床壳体为矩形,所述流化床壳体外壁包覆有冷却套,所述冷却套一侧底端设置有冷却流体进口,所述冷却套一侧顶端设置有冷却流体出口,所述流化床壳体内壁底端固定有加热件。本发明通过设置有冷却套、冷却流体进口、冷却流体出口和加热件,利用加热件内部加热和冷却套严格控制流化床壳体的壁面温度,也通过矩形模块化的床体设计解决气固流化床的工业放大问题。
主权项:1.基于内部供热生产多晶硅的气固流化床,包括流化床壳体1,其特征在于,所述流化床壳体1外壁包覆有冷却套2,所述冷却套2一侧底端设置有冷却流体进口3,所述冷却套2一侧顶端设置有冷却流体出口4,所述流化床壳体1内壁底端可拆卸固定有加热件9,所述加热件9设置为多个。
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