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申请/专利权人：内蒙古大全半导体有限公司
摘要：本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，提供了一种新型的进料喷嘴，该进料喷嘴由中空球体结构、进料管、六棱柱筒体和防护罩组成，一方面，通过防护罩的底面与还原炉底盘贴合能够保证各个进料喷嘴安装高度的一致性，使炉内进料分布均匀，避免出现进料喷嘴安装角度不一致、高度不等同的情况，保证炉内反应气场的均匀性；另一方面，通过在中空球体结构的顶点与赤道线之间的表面上均匀开设有多个喷孔，能够提升混合气进入还原炉内的流速，并且能够使炉内进料分布均匀，保证炉内反应气场的均匀性，上述设置均能改善电子级多晶硅沉积效果，改善电子级多晶硅棒的表面形态，避免由于硅棒中部和底部的生长状况不一致造成倒棒现象。
主权项：1.一种电子级多晶硅还原炉进料喷嘴，其特征在于，其包括中空球体结构、进料管、六棱柱筒体和呈锥台形的防护罩；所述中空球体结构的底部开口与所述进料管的顶端出口连通且所述中空球体结构与所述进料管一体成型；在所述进料管的中部设有外螺纹，在外螺纹段上方的所述进料管上同轴套设有呈锥台形的所述防护罩，当所述进料管螺纹连接在还原炉底盘的螺纹孔内时，所述防护罩的底面紧密贴合在还原炉底盘上；在所述中空球体结构与所述防护罩之间的所述进料管上同轴套设有所述六棱柱筒体；在所述中空球体结构的外表面均匀开设有若干个喷孔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 内蒙古大全半导体有限公司 一种电子级多晶硅还原炉进料喷嘴
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