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申请/专利权人：崂山国家实验室
摘要：本发明提出一种纳米压痕测试的超低温控制装置及方法，超低温控制装置，包括气源、液氮容器、冷却铜管、超低温控温台和控制器，所述超低温控温台包括样品台、集成加热器、温度传感器，所述样品台内置有气体导流通道，所述气源与冷却铜管、所述冷却铜管与气体导流通道通过气体管路连通，所述冷却铜管置于所述液氮容器内，所述控制器与所述集成加热器和所述温度传感器电连接。本发明通过低温气体不断吹扫样品台降温，实现最大限度减少震动，通过温度传感器和集成加热器，将样品台的温度降至目标温度并保持恒定，实现最大限度减少温度飘移，在超低温时纳米压痕测试的稳定性得到提高。
主权项：1.一种纳米压痕测试的超低温控制装置，其特征在于，包括气源、液氮容器、冷却铜管5、超低温控温台和控制器12，所述超低温控温台包括样品台7、集成加热器11、温度传感器10，所述样品台7内置有气体导流通道19，所述气源与冷却铜管5、所述冷却铜管5与气体导流通道19通过气体管路3连通，所述冷却铜管5置于所述液氮容器内，所述控制器12与所述集成加热器11和所述温度传感器10电连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 崂山国家实验室 一种纳米压痕测试的超低温控制装置及方法
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