买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：南京大学

摘要：一种用于高温超导滤波器应用的Cu,CBa2Can‑1CunO2n+3超导薄膜的制备方法.按化学比例称取一定质量的钡，钙和铜的氧化物或碳酸盐经过多次研磨压片和烧结后得到靶材；得到的块体置于研钵中捣碎并研磨成均匀粉末；将粉末置于模具中压成片；然后用密封袋真空封装后，放入液压机中进一步压制；压制好后置于加热炉中进行热处理得到PLD靶材；将制备得到靶材进行抛光，装在PLD镀膜腔体中；选取晶格常数相匹配的单晶基片；将其固定于基台的合适位置上，然后装在PLD镀膜腔体中，通过激光脉冲沉积技术制备出Cu,CBa2Can‑1CunO2n+3薄膜；在合适的激光能量，气压和基片温度下，得到高临界温度和低表面微波阻抗的超导薄膜。

主权项：1.一种用于高温超导滤波器应用的Cu,CBa2Can-1CunO2n+3n＝3,4超导薄膜制备方法，其特征在于：1按照化学比例称取一定质量的钡，钙和铜的氧化物或碳酸盐混合后研磨成均匀粉末；然后放在加热炉中进行热处理；将制备得到的产物多次研磨成均匀粉末，并压成片，放在加热炉中进行热处理；2将在所述步骤1中得到的块体置于研钵中捣碎并研磨成均匀粉末；将粉末置于模具中压成片；然后用密封袋真空封装后，放入液压机中进一步压制；压制好后置于加热炉中进行热处理得到PLD靶材；将制备得到靶材进行抛光，装在PLD镀膜腔体中；3选取与Cu,CBa2Can-1CunO2n+3n＝3,4晶格常数相匹配的单晶基片；将其固定于基台的合适位置上，然后装在PLD镀膜腔体中，维持腔体真空度进行加热；步骤3中，使用的单晶基片为LaAlO3,SrTiO3,YAlO3,MgO,LaMnO3,YSZ,NdCaAlO4,LaSrAlO4,LSAT,CeO2,NdGaO3等；4温度升到指定温度后，在PLD镀膜腔体中以一定流速分别通入高纯氧气和二氧化碳，维持镀膜腔体内气压恒定；5调节靶材与衬底之间的距离，使得羽辉末端与衬底之间的距离合适；待温度稳定后，进行薄膜的沉积生长；6沉积结束后，在PLD镀膜腔体中维持气压，或通入氧气或氮气，进行原位退火处理；或直接降至室温，将样品放在通气加热炉中进行异位退火处理；按照配比称取一定质量的钡，钙和铜的氧化物或碳酸盐混合后充分研磨，最好是研磨两个小时以上得到均匀粉末；优选原料为BaCO3，CaCO3和CuO；对于Cu,CBa2Ca3Cu4O11制备所使用的靶材，其中Cu的配比为4.2-4.8；对于Cu,CBa2Ca2Cu3O9制备所使用的靶材，其中Cu的配比为3.2-3.8；使用制备Cu,CBa2Ca3Cu4O11薄膜所用的靶材，调节薄膜生长时的条件，亦制备出Cu,CBa2Ca2Cu3O9；薄膜生长条件指激光能量，频率，气压，衬底、温度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京大学 一种用于高温超导滤波器应用的(Cu,C)Ba₂Ca_n-1Cu_nO_2n+3超导薄膜制备方法