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申请/专利权人：赛勒斯新能源科技(苏州)有限公司
摘要：本发明公开了一种表征TOPCon太阳能电池结构中多晶硅层厚度的方法，包括：构建多晶硅层反射率曲线数据库；其中，所述数据库中包括多种具有不同多晶硅层厚度的TOPCon制程片所对应的反射率曲线；获取待测样品的反射率曲线；其中，所述待测样品为待测量多晶硅层厚度的TOPCon制程片；基于所述数据库，根据待测样品的反射率曲线确定待测样品的多晶硅层厚度。本发明可监控多晶硅膜层厚度，从而及时发现工艺异常情况，提升TOPCon良品率。
主权项：1.一种表征TOPCon太阳能电池结构中多晶硅层厚度的方法，其特征在于，所述表征TOPCon太阳能电池结构中多晶硅层厚度的方法包括：构建多晶硅层反射率曲线数据库；其中，所述数据库中包括多种具有不同多晶硅层厚度的TOPCon制程片所对应的反射率曲线；获取待测样品的反射率曲线；其中，所述待测样品为待测量多晶硅层厚度的TOPCon制程片；基于所述数据库，根据待测样品的反射率曲线确定待测样品的多晶硅层厚度。
全文数据：
权利要求：
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