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申请/专利权人：苏州茂特斯自动化设备有限公司
摘要：本发明涉及晶圆分拣领域，尤其涉及一种用于转塔式晶圆分拣机的顶针装置。包括上模组和下模组，所述下模组能够驱动上模组进行顶升和水平方向的运动；其中，所述下模组能够沿水平面运动，且其上连接有顶针驱动组件；所述上模组具有顶针头和顶针保护组件，所述顶针头在顶针驱动组件的带动下沿轴向运动，所述顶针保护组件环绕顶针头设置，并在顶针头沿径向运动的方向上与顶针头保持预设的间距；所述顶针保护组件包括与顶针头同轴设置的保护环，所述保护环设置为一对，一对所述保护环在连接件的作用下具有沿顶针头轴线方向抵接的连接工位，以及在任意保护环在受到外部径向力时脱离接触的分离工位。
主权项：1.一种用于转塔式晶圆分拣机的顶针装置，其特征在于，包括上模组（3）和下模组（4），所述下模组（4）能够驱动上模组（3）进行顶升和水平方向的运动；其中，所述下模组（4）能够沿水平面运动，且其上连接有顶针驱动组件（32）；所述上模组（3）具有顶针头（31）和顶针保护组件（5），所述顶针头（31）在顶针驱动组件（32）的带动下沿轴向运动，所述顶针保护组件（5）环绕顶针头（31）设置，并在顶针头（31）沿径向运动的方向上与顶针头（31）保持预设的间距；所述顶针保护组件（5）包括与顶针头（31）同轴设置的保护环（51），所述保护环（51）设置为一对，一对所述保护环（51）在连接件（52）的作用下具有沿顶针头（31）轴线方向抵接的连接工位，以及在任意保护环（51）在受到外部径向力时脱离接触的分离工位。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州茂特斯自动化设备有限公司 一种用于转塔式晶圆分拣机的顶针装置
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