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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：质量流验证系统与设备可依据扼流原理而验证质量流控制器MFC的质量流速率。这些系统与设备可以包括并联耦接的多个不同尺寸的流量限制器。可以经由依据MFC的设定点而选择通过流量限制器中的一个的流动路径以验证各种流动速率。可以经由在扼流条件下的流量限制器的上游的压力与温度测量而确定质量流速率。也提供依据扼流原理验证质量流速率的方法，以及其他态样。
主权项：1.一种质量流验证系统，包含：入口，输入目标气体流；第一压力传感器；流量限制器，耦接于所述第一压力传感器的下游；泵；和一种处理装置，用于：造成所述泵在所述流量限制器的下游建立基底真空压力；造成所述目标气体流经所述入口并流经所述流量限制器；使用所述第一压力传感器监测所述流量限制器的上游的所述目标气体的第一压力；使用所述目标气体的所述第一压力，识别通过所述流量限制器的所述目标气体的扼流的限制持续时间段，其中所述限制持续时间段之后是所述目标气体的压力增加的时间段；和使用所述目标气体的第一压力值，确定所述目标气体的质量流速率，其中在所述扼流的限制持续时间段获得所述目标气体的所述第一压力值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 用于基于扼流的质量流验证的方法、系统和设备
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