龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：描述了用于阻抗匹配的反馈控制系统的方法、系统和介质。公开了一种阻抗匹配和功率分配网络用的计算机程序产品。该计算机程序产品可包含计算机可执行的指令，该计算机可执行的指令可获得现在时间处与处理室的站相关的可变电抗的现在值，其中该可变电抗与用于针对该处理室进行阻抗匹配的第一反馈控制系统相关，其中在与用于针对该处理室进行阻抗匹配的第二反馈控制系统相关的该处理室的RF产生器上进行频率调谐。该计算机可执行的指令可至少部分基于与该第二反馈控制系统相关的误差，确定待与该第一反馈控制系统关联使用的针对该站的该可变电抗的更新的值。
主权项：1.一种用于阻抗匹配和功率分配网络的计算机程序产品，所述计算机程序产品包含非瞬变计算机可读介质，计算机可执行的指令被提供在所述非瞬变计算机可读介质上，所述计算机可执行的指令用于：获得现在时间点与处理室的站相关的可变电抗的现在值，其中所述可变电抗与用于针对所述处理室执行阻抗匹配的第一反馈控制系统相关，且其中在与用于针对所述处理室执行阻抗匹配的第二反馈控制系统相关的所述处理室的RF产生器上执行频率调谐；以及至少部分基于与所述第二反馈控制系统相关的误差，确定待与所述第一反馈控制系统关联使用的用于所述站的所述可变电抗的更新的值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 用于阻抗匹配的反馈控制系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号