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申请/专利权人：韩华动力株式会社

摘要：本发明作为热处理装置，可以包括：热处理炉，用于对基板进行热处理；冷却器，用于对供应到热处理炉内部并排出的处理气体进行冷却；气体提纯器，用于对通过冷却器的处理气体进行提纯；以及，加热器，用于对通过气体提纯器的处理气体进行加热升温之后供应到上述热处理炉。本发明的热处理方法，可以包括：净化步骤、提纯步骤、正常运行步骤以及急净化步骤。

主权项：1.一种热处理装置，其特征在于，包括：热处理炉，用于对基板进行热处理；冷却器，用于对供应到上述热处理炉内部并排出的处理气体进行冷却；气体提纯器，用于对通过上述冷却器的处理气体进行提纯；以及，加热器，用于对通过上述气体提纯器的处理气体进行加热升温之后供应到上述热处理炉；通过密闭上述热处理炉而防止所注入的处理气体发生泄漏，上述热处理炉由外壳以及在上述外壳的两侧以可开闭的方式形成的门构成，在上述门中的一侧门的一侧面配备有流入口，而在一侧门的另一侧面形成有多个流入孔，在上述门的内部形成可供通过上述流入口注入的处理气体经由上述多个流入孔供应到上述热处理炉内部的扩散空间，在上述扩散空间的固定位置上形成用于对流入到扩散空间中的气体的流动进行分散的分散部，在假定通过上述流入口注入气体的方向为第1方向，而与上述第1方向垂直的方向为第2方向时，上述处理气体的一部分通过上述分散部并向上述第1方向进行流动，且上述处理气体中的一部分被上述分散部阻挡并向上述第2方向进行流动，上述处理气体借助于上述分散部均匀地扩散到上述扩散空间内部，上述分散部，包括：分散板，与通过上述流入口注入的处理气体发生碰撞并将其扩散到扩散空间中；多个支撑台，通过对上述分散板进行支撑而使其位于扩散空间的固定空间，并以沿着分散板的圆周方向间隔一定距离形成通过空间的方式得到固定；以及，支撑框架，一侧面与上述支撑台连接而另一侧面与门连接，从而将支撑台与分散板配置在扩散空间内部；通过上述流入口注入的处理气体通过上述支撑框架的通过孔并经由上述多个支撑台之间的通过空间移动到扩散空间，一部分处理气体通过与上述分散板发生碰撞并向四方扩散而移动到扩散空间，一部分处理气体通过在分散板中形成的分散孔移动到扩散空间得到分散。

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权利要求：

百度查询： 韩华动力株式会社 基板处理用密闭型热处理装置及方法