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制造容错的非线性波导锥 

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申请/专利权人:无盖灯光电公司

摘要:用于波导过渡的制造容错的非线性波导锥可以通过如下被设计:对于表征波导过渡的参数值的多个集合例如,标称参数值的集合和与工艺拐角相关联的参数值的集合,工艺拐角表示来自标称参数值的工艺变化中的每个集合,将与波导过渡相关联的散射率作为波导锥的波导宽度的函数进行计算;确定所计算的宽度相关散射率的包络;以及基于包络计算波导锥的非线性锥轮廓。对于参数值的多个集合,可以进一步计算性地仿真沿着波导过渡的光传播和耦合,以确定与针对指定锥长度的波导过渡相关联的最小传输值,和或确定最小锥长度,在最小锥长度处,与波导过渡相关联的传输值超过指定的阈值传输值。

主权项:1.一种在两个波导之间制作波导过渡的方法,所述波导过渡包括波导锥,所述方法包括:指定针对表征所述波导过渡的参数的参数值的多个集合,其中参数值的所述多个集合包括标称参数值的集合和与工艺拐角相关联的参数值的集合,所述工艺拐角表示来自所述标称参数值的工艺变化;对于参数值的所述多个集合中的每个集合,计算作为所述波导锥的波导宽度的函数的散射率;对于参数值的所述多个集合,确定所述散射率的包络,其中所述包络是曲线,所述曲线通过在每个波导宽度处确定跨所有工艺拐角的最大散射率并且跨波导宽度地在局部最大值之间进行线性插值来共同地向所有工艺情况提供上限;基于所述包络,计算所述波导锥的非线性锥轮廓;以及基于所计算的所述非线性锥轮廓,制造所述波导过渡。

全文数据:

权利要求:

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