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一种高灵敏度分体式柔性力传感器 

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申请/专利权人:衢州学院;浙江工业大学

摘要:本发明公开了一种高灵敏度分体式柔性力传感器。主要由从上至下的上极板、柔性测量单元和下极板组合而成,上下极板均由双指U形夹构成;上极板双指U形夹的两指底面与下极板双指U形夹的两指顶面均有铜电极作为传感电极;柔性测量单元内部开有四个中心对称间隔阵列的密闭腔体,每个密闭腔体沿对角线由内腔室和外腔室构成,内腔室和外腔室之间存在隔断使得仅在底部连通。本发明采用分体式结构,四个内腔室实现力敏形变功能,四个外腔室与传感电极实现电容传感功能,保证了柔性力传感器的大测量范围和高灵敏度。

主权项:1.一种高灵敏度分体式柔性力传感器,其特征在于:主要由从上至下的上极板1、柔性测量单元2和下极板3组合而成,上极板1和下极板3均主要由双指U形夹构成,上极板1的双指U形夹的两指底面均设置有一铜电极作为电容器的上传感电极4,下极板3的双指U形夹的两指顶面均设置有一铜电极作为电容器的下传感电极5;柔性测量单元2内部开有四个中心对称间隔阵列布置的密闭腔体,每个密闭腔体沿对角线由大小和高度完全相同的内腔室8和外腔室9构成,内腔室8和外腔室9的长宽度与上极板1、下极板3双指U形夹的指宽相等,内腔室8和外腔室9之间存在隔断使得仅在底部连通,呈半连通状态。

全文数据:

权利要求:

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