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申请/专利权人：江苏派莱特光电科技有限公司

摘要：本发明公开了一种蒸发镀膜机的电子束蒸发装置，涉及蒸发镀膜机技术领域，包括真空蒸发镀膜机、转动盘、悬挂杆和固定轴，所述转动盘的中间与固定轴转动连接，所述转动盘的表面中间且位于固定轴处安装有圆环状的坩埚，所述固定轴贯穿坩埚的中间，转动盘与固定轴相交处设置有搅拌结构；本发明的坩埚内部熔液可以被搅拌，不同位置的熔液被搅拌使得受热比较均匀，可以将搅拌球上下摆动，从而将坩埚的加热靶材料进行搅拌，使得圆环状的坩埚内部的加热靶材料均能被接触处，使得加热靶材均能落入到坩埚的最底端加热，伸缩内杆绕着固定轴转动的同时，伸缩内杆也会绕着自身的轴线转动，从而将坩埚不同位置的加热靶材搅拌更加均匀。

主权项：1.一种蒸发镀膜机的电子束蒸发装置，包括真空蒸发镀膜机（1）、转动盘（2）、悬挂杆（3）和固定轴（4），所述转动盘（2）的中间与固定轴（4）转动连接；其特征在于，所述转动盘（2）的表面中间且位于固定轴（4）处安装有圆环状的坩埚（8），所述固定轴（4）贯穿坩埚（8）的中间，转动盘（2）与固定轴（4）相交处设置有搅拌结构（5），所述搅拌结构（5）包括固定环（51），固定环（51）固定在固定轴（4）的下端，固定环（51）的拐角处设置有三个相互套合的伸缩外杆（54）和伸缩内杆（55），三个伸缩外杆（54）与固定环（51）相交处均连接有连接销（511），伸缩外杆（54）与连接销（511）转动连接，伸缩外杆（54）的内部和伸缩内杆（55）滑动连接，伸缩外杆（54）的内部开设有收纳腔，且收纳腔的内部设置有伸缩弹簧一（512），伸缩弹簧一（512）与伸缩内杆（55）的端部相接触，固定环（51）的底端开设有一圈配合槽（57），预留槽二（53）的内部滑动连接有环形条（58），固定环（51）的顶端固定安装有两个气缸（510），两个气缸（510）的端部均与环形条（58）相连接，伸缩外杆（54）的端部一体设置有不完全齿轮（59），环形条（58）的侧壁开设有与不完全齿轮（59）相适配的齿牙，不完全齿轮（59）与环形条（58）相互啮合，伸缩内杆（55）的底端焊接有搅拌球（56），搅拌球（56）的球面与坩埚（8）的内部始终接触。

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