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覆膜治具和覆膜机台 

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申请/专利权人:甬矽电子(宁波)股份有限公司

摘要:本申请提出一种覆膜治具和覆膜机台,涉及半导体技术领域。该覆膜治具包括壳体、旋转板和底座,壳体具有槽口。旋转板与壳体转动连接,且旋转板位于壳体内;旋转板的一面设有安装凹槽,安装凹槽用于放置覆膜;旋转板的另一面设有压块,压块用于将第一芯片周围的覆膜压断。底座用于放置基板;壳体和底座盖合以封闭槽口形成空腔。该覆膜治具结构简单,操作方便,并且能在第一芯片周围的覆膜上形成开口,有利于后期的塑封工艺中,塑封料更好地填充第一芯片的底部。

主权项:1.一种覆膜治具,用于对基板上的芯片进行覆膜,芯片包括第一芯片和第二芯片;其特征在于,所述覆膜治具包括:壳体,所述壳体具有槽口;旋转板,所述旋转板与所述壳体转动连接,且所述旋转板位于所述壳体内;所述旋转板的一面设有安装凹槽,所述安装凹槽用于放置覆膜;所述旋转板的另一面设有压块,所述压块用于将所述第一芯片周围的覆膜压断;底座,所述底座用于放置基板;所述壳体和所述底座盖合以封闭所述槽口形成空腔;所述旋转板能在所述壳体内转动至所述安装凹槽朝向所述底座,或者转动至所述压块朝向所述底座。

全文数据:

权利要求:

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