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申请/专利权人：浙江大学杭州国际科创中心
摘要：本实用新型涉及晶片生产技术领域，特别涉及一种晶圆自动下片及装盒装置。晶圆自动下片及装盒装置包括下片单元、中转单元、装盒单元；下片单元中的下片机械手通过机械作用将待卸晶圆从陶瓷盘卸下成为独立晶圆，并托举独立晶圆直至将独立晶圆转移至中转单元，中转单元中的晶圆定位工位调整晶圆的朝向，中转单元中的中转机械手将独立晶圆转移至装盒单元，从而实现在常温状态下对待卸晶圆进行脱蜡下片成为独立晶圆，并自动识别独立晶圆的尺寸、调整独立晶圆的朝向、将独立晶圆装入对应的花篮，从而实现晶圆的自动下片和装盒功能。避免人工操作中存在的晶圆损伤、沾污、生产效率低、安全风险高、数据缺乏实时监控，质量追溯困难的问题。
主权项：1.一种晶圆自动下片及装盒装置，其特征在于，包括：传送单元、下片单元、中转单元、装盒单元；所述传送单元包括传送带和位于所述传送带表面的陶瓷盘工位，所述陶瓷盘工位跟随所述传送带运动，贴附有待卸晶圆的陶瓷盘安放于所述陶瓷盘工位；所述下片单元包括下片机械手，所述下片机械手的一端具有若干组下片铲刀，所述下片铲刀将所述待卸晶圆从陶瓷盘卸下成为独立晶圆，并托举所述独立晶圆直至将所述独立晶圆转移至所述中转单元，不同组的所述下片铲刀用于卸下不同尺寸的所述待卸晶圆；所述中转单元包括中转定位台、中转机械手，所述中转定位台具有多个不同尺寸的晶圆定位工位，不同尺寸的所述晶圆定位工位对应相同尺寸的所述独立晶圆；所述中转机械手将所述晶圆定位工位的所述独立晶圆转移至所述装盒单元；所述装盒单元包括多个不同尺寸的花篮放置工位，所述不同尺寸的花篮放置工位用于放置相应尺寸的花篮，不同尺寸的所述花篮对应放置相对应尺寸的所述独立晶圆。
全文数据：
权利要求：
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