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申请/专利权人：南京先锋材料科技有限公司
摘要：本实用新型涉及一种溅射靶材表面粗糙度精度检测装置，旨在解决当前对溅射靶材表面粗糙度进行检测时产生浪费的技术问题，包括检测机构和清扫机构：所述检测机构内固定连接有驱动机构，所述检测机构内设置有清扫机构，本实用新型通过现有溅射靶材表面粗糙度精度检测装置进行改进，当对接块与对接壳完成限位对接后则会通过第二齿轮带动驱动杆转动，使得该装置在使用时，只需将所需检测的溅射靶材放置在清洗槽内并下压溅射靶材即可实现对溅射靶材检测面的清洁，且在清洁的同时会通过检测机内部的散热系统对溅射靶材废屑进行回收，一方面降低了该装置对人力资源的需求，另一方面起到了回收溅射靶材废屑的效果，避免发生资源浪费的情况。
主权项：1.一种溅射靶材表面粗糙度精度检测装置，其特征在于，包括检测机构1和清扫机构3：所述检测机构1内固定连接有驱动机构2，所述检测机构1内设置有清扫机构3；所述检测机构1包括检测机101，所述检测机101的上方开设清洗槽103，所述驱动机构2设置在检测机101内；所述清扫机构3包括对接块301和驱动杆302，所述驱动杆302的顶端与挤压块304的底端固定连接，所述挤压块304滑动连接在连接壳305内，所述连接壳305的下方与清洗槽103内壁的下方固定连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京先锋材料科技有限公司 一种溅射靶材表面粗糙度精度检测装置
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