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申请/专利权人：德沪涂膜设备(苏州)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种掩膜板清洗装置，包括：壳体、支撑轮和清洁组件。壳体具有底壁和侧壁并围设形成浸润槽，浸润槽用于盛放清洗液。支撑轮设置于侧壁，支撑轮用于支撑掩膜板并使经过浸润槽的掩膜板浸泡于清洗液以除去掩膜板上的涂布液。清洁组件包括沿掩膜板移动方向依次设置的第一刮板、第二刮板、第一液体喷嘴、第二液体喷嘴、第三刮板、第四刮板和气体喷嘴。本申请的掩膜板清洗装置能够自动对掩膜板进行清洁，不仅可以提高涂布头预涂覆的效果，同时避免了涂布头被掩膜板上的涂布液污染，提高涂布头在基材上涂覆的质量，而且避免了因需要人工更换或人工清洗掩膜板造成的停机，提高了涂布头的涂覆效率。
主权项：1.一种掩膜板清洗装置，其特征在于，包括：壳体，所述壳体具有底壁以及围绕所述底壁设置的侧壁，所述底壁和所述侧壁围设形成浸润槽，所述浸润槽用于盛放清洗液；支撑轮，所述支撑轮设置于所述侧壁，所述支撑轮用于支撑掩膜板并使经过所述浸润槽的所述掩膜板浸泡于所述清洗液以除去所述掩膜板上的涂布液；清洁组件，所述清洁组件包括沿所述掩膜板移动方向依次设置的第一刮板、第二刮板、第一液体喷嘴、第二液体喷嘴、第三刮板、第四刮板和气体喷嘴，所述第一刮板和所述第二刮板均朝向所述掩膜板背向所述支撑轮的一面，所述第一液体喷嘴和所述第二液体喷嘴分别设置在所述掩膜板的两侧并用于向所述掩膜板喷洒所述清洗液，所述第三刮板和所述第四刮板分别设置在所述掩膜板的两侧并用于去除所述掩膜板上的所述清洗液和或所述涂布液，所述气体喷嘴用于向所述掩膜板吹气以去除所述掩膜板上的所述清洗液和或所述涂布液。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 德沪涂膜设备(苏州)有限公司 一种掩膜板清洗装置
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