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申请/专利权人：无锡顺鼎金属科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种硅晶圆提炼缓冲罐，包括缓冲罐本体，所述缓冲罐本体的顶端和底端设有进出气口，还包括与缓冲罐本体对接的辅助罐；所述辅助罐和缓冲罐本体之间设置有抽气机构，所述抽气机构能够将缓冲罐本体中的气体抽入到辅助罐中，也能够将辅助罐中的气体抽入到缓冲罐本体中，涉及缓冲罐技术领域，通过设置抽气机构和辅助罐，并利用管道将辅助罐与缓冲罐本体之间对接，当缓冲罐本体中的气压偏低时，将辅助罐中的气体抽入到缓冲罐本体中；当缓冲罐本体中的气压偏高时，将缓冲罐本体中的气体抽入到辅助罐中，从而能够维持缓冲罐本体中的气压平衡。
主权项：1.一种硅晶圆提炼缓冲罐，包括缓冲罐本体1，所述缓冲罐本体1的顶端和底端设有进出气口2,3，其特征在于：还包括与缓冲罐本体1对接的辅助罐11；所述辅助罐11和缓冲罐本体1之间设置有抽气机构，所述抽气机构能够将缓冲罐本体1中的气体抽入到辅助罐11中，也能够将辅助罐11中的气体抽入到缓冲罐本体1中。
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权利要求：
百度查询： 无锡顺鼎金属科技有限公司 一种硅晶圆提炼缓冲罐
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