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申请/专利权人：北京印刷学院
摘要：本发明涉及一种柔性气敏传感器及其制备方法和应用，该柔性气敏传感器包括柔性衬底、第一电极层、复合金属半导体敏感层和第二电极层，复合金属半导体敏感层包括Ti3C2Tx‑ZnO复合层及成型于Ti3C2Tx‑ZnO复合层上表面的ZnO薄膜层；第二电极层上分布有供气体与Ti3C2Tx‑ZnO复合层和或ZnO薄膜层接触的通孔。本发明提供的柔性气敏传感器经检测测试表现出较好的室温气敏特性，灵敏度高、响应快且对氨气具有很强的选择性，最低检测限为0.1×10‑6，且在0.1×10‑6～380×10‑6较宽浓度范围内表面出良好的线性响应能力，其对空气湿度变化不敏感，脱离检测环境后，能够较快恢复重置，循环特性好。
主权项：1.一种柔性气敏传感器，其特征在于，包括由下至上依次层叠设置的柔性衬底、第一电极层、复合金属半导体敏感层和第二电极层，所述复合金属半导体敏感层包括Ti3C2Tx-ZnO复合层及成型于所述Ti3C2Tx-ZnO复合层上表面的ZnO薄膜层，Ti3C2Tx-ZnO复合层内含有Ti3C2TxMxene纳米材料与ZnO纳米材料；所述第二电极层上分布有供气体与所述Ti3C2Tx-ZnO复合层和或ZnO薄膜层接触的通孔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京印刷学院 一种柔性气敏传感器及其制备方法和应用
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