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申请/专利权人：吾拾微电子(苏州)有限公司

摘要：本申请涉及一种晶圆清洗装置及清洗设备，晶圆清洗装置包括：清洗装置包括安装板、安装在安装板上的连接件、承托组件以及分流组件、驱动组件和导流组件。承托组件用于承托晶圆，分流组件用于对清洗晶圆用不同的清洗液进行分开回收，从而可以实现对不同清洗液的独立导流，避免不同清洗液之间的混合，保证每种清洗液的纯度和有效性；当清洗不同类型的污染物时，可以使用不同的清洗液进行针对性清洗，并且清洗液能够分开回收，便于后续的处理和再利用，降低了清洗成本，同时减少了对环境的污染。

主权项：1.一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括：安装板；连接件，安装在所述安装板上，包括具有中空的安装部、设置在所述安装部外侧的对接部以及设置在所述对接部外侧的边缘部，所述对接部与所述边缘部之间形成第一环形导流槽；承托组件，包括安装在所述安装部上的第一驱动件和连接在所述第一驱动件上方的承托板，所述第一驱动件能够驱动所述承托板相对于所述安装板旋转；分流组件，包括围绕设置在所述承托组件外侧的第一分流件和围绕设置在所述第一分流件外侧的第二分流件；所述第一分流件包括本体部和自所述本体部向上延伸设置的第一壁体和围绕在所述第一壁体外侧的第二壁体，所述第二分流件自上向下至少部分插入至所述第一壁体与第二壁体之间，所述第一壁体与所述承托组件之间形成有第一空间，所述第一空间与所述第一环形导流槽连通形成第一液体通道，所述第一壁体与所述第二壁体之间形成第二环形导流槽，所述第二分流件与所述第一壁体之间形成第二空间，所述第二空间与所述第二环形导流槽连通形成第二液体通道；所述第一分流件和第二分流件在外力作用下可相对于所述承托板在高度方向上移动，使得于高度方向上，所述承托板位于所述第一分流件上端与下端之间或所述承托板位于所述第一分流件与第二分流件之间；驱动组件，包括与所述第一分流件连接的第二驱动件和与所述第二分流件连接的第三驱动件，所述第二驱动件能够驱动所述第一分流件在高度方向上移动，所述第三驱动件能够驱动所述第二分流件在高度方向上移动；导流组件，包括导流管和固定块，所述导流管第一端依次穿过所述安装板、边缘部与所述第二环形导流槽连通，所述导流管第二端与所述第二驱动件连接，所述固定块套设在所述导流管外侧，且位于所述导流管与所述边缘部之间，所述固定块与所述导流管之间还设置有密封件。

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权利要求：

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