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申请/专利权人：凯斯科技股份有限公司
摘要：公开一种鉴别晶圆区域的方法及执行该方法的晶圆区域鉴别装置。晶圆区域鉴别装置包括：探针，其包括光学传感器，在晶圆上的多个位置获得根据晶圆的厚度特性改变信号值的光学光谱信号；以及处理器，其利用将通过探针获得的当前光学光谱信号作为输入的基于神经网络的区域鉴别模型，识别是否从晶圆上配置芯片的模片区获得当前光学光谱信号。
主权项：1.一种晶圆区域鉴别装置，其特征在于，包括：探针，其包括光学传感器，在晶圆上的多个位置获得根据晶圆的厚度特性改变信号值的光学光谱信号；以及处理器，其利用将通过探针获得的当前光学光谱信号作为输入的基于神经网络的区域鉴别模型，识别是否从晶圆上配置芯片的模片区获得当前光学光谱信号。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 凯斯科技股份有限公司 鉴别晶圆区域的方法及执行该方法的晶圆区域鉴别装置
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