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申请/专利权人：江苏京创先进电子科技有限公司
摘要：本实用新型揭示了晶圆夹取装置及晶圆加工设备，其中晶圆夹取装置包括夹爪座，所述夹爪座上设置有晶圆夹爪，所述晶圆夹爪的爪体沿铅垂方向移动开闭，所述夹爪座可直线平移地设置在固定板上，所述夹爪座连接使其移动后复位的弹性件，所述固定板上设置有用于检测所述夹爪座向所述固定板的移动行程是否超过限定范围的检测传感器。本实用新型使晶圆夹爪可移动地设置在固定板上并连接弹性件，使得晶圆夹爪具有一定的缓冲能力，因此，在夹爪前伸时也能够通过其移动来减小对晶圆施加的压力，减少晶圆因为硬碰撞损坏的风险，并且增加了检测传感器来检测夹爪座的位置，能够及时发现异常情况并控制伺服模组停止，从而能够有效地提高夹取晶圆的安全性。
主权项：1.晶圆夹取装置，包括夹爪座，所述夹爪座上设置有晶圆夹爪，所述晶圆夹爪的爪体沿铅垂方向移动开闭，其特征在于：所述夹爪座可直线平移地设置在固定板上，所述夹爪座连接使其移动后复位的弹性件，所述固定板上设置有用于检测所述夹爪座向所述固定板的移动行程是否超过限定范围的检测传感器。
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权利要求：
百度查询： 江苏京创先进电子科技有限公司 晶圆夹取装置及晶圆加工设备
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