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申请/专利权人：三星显示有限公司
摘要：沉积源包括坩埚、多个喷嘴、壳体、下部加热模块、上部加热模块、第一电极、第二电极以及供电器。坩埚收纳沉积物质。多个喷嘴配置在坩埚上。多个喷嘴沿着第一方向彼此间隔开。壳体收纳坩埚和多个喷嘴。下部加热模块配置在壳体的内部空间中且包围坩埚。上部加热模块在壳体的内部空间中配置在下部加热模块上。第一电极在与第一方向交叉的第二方向上延伸。第一电极与下部加热模块连接。第二电极在第二方向上延伸。第二电极与上部加热模块连接。供电器与第一电极及第二电极电连接。
主权项：1.一种沉积源，其特征在于，包括：坩埚，收纳沉积物质；多个喷嘴，配置在所述坩埚上且沿着第一方向彼此间隔开；壳体，收纳所述坩埚和所述多个喷嘴；下部加热模块，配置在所述壳体的内部空间中，包围所述坩埚；上部加热模块，在所述壳体的所述内部空间中配置在所述下部加热模块上；第一电极，在与所述第一方向交叉的第二方向上延伸，与所述下部加热模块连接；第二电极，在所述第二方向上延伸，与所述上部加热模块连接；以及供电器，与所述第一电极及所述第二电极电连接。
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