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申请/专利权人：苏州铠欣半导体科技有限公司
摘要：本发明涉及一种碳化钽浆料、碳化钽涂层及其制备方法和坩埚。碳化钽浆料，按质量份数计，其组分包括70份~80份的改性碳化钽、0.5份~1.0份烧结助剂、0.5~1.0份粘结剂和18.5份~28份溶剂；改性碳化钽包括碳化钽和聚合物树脂层，聚合物树脂层包覆在所述碳化钽的表面。上述碳化钽浆料，通过各组分按特定配比进行搭配，形成了稳定性好、碳化钽含量较高、可形成较高堆积密度涂覆层的浆料；该浆料可以形成碳含量高、致密度高且裂纹少的碳化钽涂层。
主权项：1.一种碳化钽浆料，其特征在于，按质量份数计，其组分包括70份~80份的改性碳化钽、0.5份~1.0份烧结助剂、0.5份~1.0份粘结剂和18.5份~28份溶剂；所述改性碳化钽包括碳化钽、聚合物树脂层及非离子型表面活性剂；所述碳化钽为表面羟基化的碳化钽；所述聚合物树脂层包覆在所述碳化钽的表面；所述非离子型表面活性剂连接于所述聚合物树脂层的表面；所述聚合物树脂层的材料选自双酚A型环氧树脂和海因环氧树脂中的至少一种；所述聚合物树脂层的质量为所述碳化钽质量的1wt%~3wt%；所述非离子型表面活性剂选自二亚丙基三胺和椰油脂肪酸二乙酰胺中的至少一种。
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百度查询： 苏州铠欣半导体科技有限公司 碳化钽浆料、碳化钽涂层及其制备方法和坩埚
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