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申请/专利权人：峨眉山长庆新材料有限公司
摘要：本发明公开了一种氯硅烷高沸物制备纳米级二氧化硅的方法，包括汽化‑高温水解‑多级冷却‑固液分离‑固体脱酸和气体处理；所述汽化是指采用聚四氟乙烯覆膜过滤器对氯硅烷高沸物过滤，然后在温度为150～240℃下汽化；所述高温水解是指汽化后的蒸汽先与加热后的空气混合均匀，再与氢气混合进入反应炉后高温水解产生分子级二氧化硅颗粒；所述多级冷却是指先降至750～1070℃后再冷却到450～750℃，最后冷却到150～180℃，所述固液分离是指采用高效布袋分离器对冷却后的二氧化硅‑废气混合物进行气固分离；本发明利用实现对多晶硅工业副产物氯硅烷高沸物的无害化、高附加值处理和热能的综合回收利用，降低气相法纳米二氧化硅的生产成本，提高生产效率。
主权项：1.一种氯硅烷高沸物制备纳米级二氧化硅的方法，其特征在于：包括汽化-高温水解-多级冷却-固液分离-固体脱酸和气体处理；所述汽化是指采用聚四氟乙烯覆膜过滤器对氯硅烷高沸物过滤，然后在温度为150～240℃下汽化；所述氯硅烷高沸物为四氯化硅；所述高温水解是指汽化后的蒸汽先与加热后的空气混合均匀，再与氢气混合进入反应炉后高温水解产产生分子级二氧化硅颗粒、氯化氢气体及氯化氢气体高温分解的氯气、以及未反应完的氧气和氮气混合物；其中，氯硅烷高沸物、氧气和氢气的体积比为1:10～15:0.5～1.5；所述多级冷却是指先在反应炉将温度降至750～1070℃后再在冷却管中再次冷却到450～750℃，最后在管壳式冷却器中最终冷却到150～180℃，其中冷却介质采用导热油；所述固液分离是指采用高效布袋分离器对冷却后的二氧化硅-废气混合物进行气固分离；所述固体脱酸是指对固液分离后的固体进行脱酸处理获取纳米级二氧化硅；所述气体处理是指对固液分离的气体进行处理使气体符合排放标准后自然排放。
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权利要求：
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