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申请/专利权人：山东高等技术研究院
摘要：本发明涉及光学氢气传感器技术领域，具体涉及一种基于超薄Pd薄膜的高灵敏度氢气传感器及其制备方法，包括基底、设于基底上的钯金属薄膜层、设于钯金属薄膜层上的双曲超材料层和设于双曲超材料层上的棱镜，所述双曲超材料层为银薄膜层和氧化钛薄膜层交替排列形成。本发明公开的用于氢气传感的器件，基于超薄Pd薄膜仍达实现高达2300的灵敏度。与此同时，该器件制备方法比较简单，容易大面积制备应用，具有良好的商业前景。因此，本发明提供的高灵敏度光学氢气传感器及其制备方法是一种较为适用于商用的氢气传感器方案。
主权项：1.一种基于超薄Pd薄膜的高灵敏度氢气传感器，其特征在于，包括基底、设于基底上的钯金属薄膜层、设于钯金属薄膜层上的双曲超材料层和设于双曲超材料层上的棱镜，所述双曲超材料层为银薄膜层和氧化钛薄膜层交替排列形成。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东高等技术研究院 一种基于超薄Pd薄膜的高灵敏度氢气传感器及其制备方法
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