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一种基于碳纳米线圈的高敏感度且可精确解耦的柔性压力/温度传感器的制作方法及应用 

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申请/专利权人:南京工业大学

摘要:本发明涉及基于碳纳米线圈的高敏感度且可精确解耦的柔性压力温度传感器。将碳纳米线圈与聚二甲基硅氧烷进行复合,分别形成弹性多孔压敏层和实心温敏层,随后采用共享电极策略构筑三电极非对称型以压容和温阻为检测原理的多功能传感器。该传感器具有简便的电路布局,并展现出超高的温度敏感度3045.95%℃‑1和0.05℃的温度分辨率。此外,由于弹性多孔层的有效设计,压力检测限可达到1.5Pa且具有较高的循环稳定性。通过循环抓取食物实验验证了该传感器可同时检测压力和温度,并表现出极小的干扰。基于该传感器优异的敏感度和解耦能力,设计了误触开关并展现出在生产车间等场所的潜在应用前景。

主权项:1.一种基于碳纳米线圈的高敏感度且可精确解耦的柔性压力温度传感器的制作方法,其特征在于:包括如下步骤:1聚二甲基硅氧烷PDMS的制备:聚二甲基硅氧烷DowCorningSylgard184真空中除气泡;倒入模具中,固化成型;制备出PDMS薄膜;2盐模板牺牲法:将碳纳米线圈、聚二甲基硅氧烷和氯化钠混合均匀,在模具中固化成型;通过浸泡,超声,干燥,制备出碳纳米线圈聚二甲基硅氧烷CNCsPDMS复合材料多孔压敏层;3将碳纳米线圈和聚二甲基硅氧烷混合均匀,均匀滴涂在金叉指电极上并固化,制备出CNCsPDMS薄膜作为温敏层,CNCsPDMS薄膜与叉指电极整体作为温度传感部分;4将制备的CNCsPDMS多孔层和PDMS薄膜作为中间层;温敏层作为下层电极,上述功能层通过层压法组装,制备出基于碳纳米线圈聚二甲基硅氧烷CNCsPDMS的压力-温度传感器;上层和底层分别为PDMS上的Ag薄膜和PI衬底上的叉指Au电极,作为电信号输出的引线;中间层分别为CNCsPDMS多孔层、PDMS薄膜和实心CNCsPDMS薄膜,分别作为电容相关的压力传感单元、介电层和电阻相关的温度传感单元。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 南京工业大学 一种基于碳纳米线圈的高敏感度且可精确解耦的柔性压力/温度传感器的制作方法及应用

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