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申请/专利权人：云际芯光(珠海)微电子有限公司;天津大学

摘要：本发明提供一种角速度敏感单元及角速度传感器，其中，包括：基部、第一直型感应臂、第二直型感应臂、第一连接臂、第二连接臂、一对第一直型驱动臂、一对第二直型驱动臂；在第一连接臂的相对主面均设置有第一连接臂槽部，第一连接臂槽部设置有第一连接臂槽部电极，第一连接臂的侧面设置有第一连接臂侧壁电极；第二连接臂的相对主面均设置有第二连接臂槽部，第二连接臂槽部设置有第二连接臂槽部电极，第二连接臂的侧面设置有第二连接臂侧壁电极。本发明可以减少热弹性阻尼带来的能量耗散，从而提高Q值，且在连接臂部设置槽部，使其截面惯性矩减小，使得科氏力传递效果更明显，从而提高角速度敏感单元的灵敏度，有利于器件的小型化。

主权项：1.一种角速度敏感单元，其特征在于，包括：基部、第一直型感应臂、第二直型感应臂、第一连接臂、第二连接臂、一对第一直型驱动臂、一对第二直型驱动臂；所述第一直型感应臂的与所述第二直型感应臂分别连接所述基部并从所述基部起沿X轴向的彼此相反的方向延伸；所述第一连接臂沿Y轴向的第一端与所述第二连接臂沿Y轴向的第一端均连接所述基部，一对所述第一直型驱动臂连接所述第一连接臂沿Y轴向的第二端并从所述第一连接臂沿Y轴向的第二端起沿X轴向彼此相反的方向延伸，一对所述第二直型驱动臂连接所述第二连接臂沿Y轴向的第二端并从所述第二连接臂沿Y轴向的第二端起沿X轴向彼此相反的方向延伸；所述第一直型驱动臂包括第一振动臂部，所述第一振动臂部的相对主面均设置有第一驱动臂槽部，所述第一驱动臂槽部内设置有第一驱动臂槽部电极，所述第一振动臂部的侧面设置有第一驱动臂侧壁电极；所述第二直型驱动臂包括第二振动臂部，所述第二振动臂部的相对主面均设置有第二驱动臂槽部，所述第二驱动臂槽部内设置有第二驱动臂槽部电极，所述第二振动臂部的侧面设置有第二驱动臂侧壁电极；所述第一连接臂的相对主面均设置有第一连接臂槽部，所述第一连接臂槽部设置有第一连接臂槽部电极，所述第一连接臂的侧面设置有第一连接臂侧壁电极；所述第二连接臂的相对主面均设置有第二连接臂槽部，所述第二连接臂槽部设置有第二连接臂槽部电极，所述第二连接臂的侧面设置有第二连接臂侧壁电极。

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