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申请/专利权人：中国船舶科学研究中心
摘要：本发明涉及一种爆炸压力传感器敏感晶片压合专用装置及压合方法，能够对晶片组件的配合精度及预压粘合力进行控制。本发明加工成本低，简易实用，操作便捷。相比于常规压合方法，可以避免操作人员熟练程度不同引致的各种问题，使用此装置的晶片组件加工精度可以满足工艺要求，有效提升了制作的效率和精度，提高了传感器性能的一致性。
主权项：1.一种爆炸压力传感器敏感晶片压合专用装置，其特征在于：包括基座1，所述基座1上可拆卸连接有用于承托待压合晶片5的模块座6，基座1上还活动连接有调节柱2，调节柱2竖直运动，向模块座6施加压紧力。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国船舶科学研究中心 爆炸压力传感器敏感晶片压合专用装置及压合方法
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