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申请/专利权人：上海芯谦集成电路有限公司
摘要：本发明涉及一种用于抛光垫的检测窗口及其制备方法，制备方法包括如下步骤：a配制原料混合物，原料混合物中各组分的重量配比为：聚醚二醇44～47份，芳香族异氰酸酯9～11份，脂肪族异氰酸酯25～28份，胺类扩链剂8～11份，二元醇4～6份，酚类抗氧剂0.1～0.7份；b对原料混合物进行真空脱泡处理，得到脱泡混合物；c对脱泡混合物进行固化成型和硫化处理，得到硫化样品；d对硫化样品进行切片，得到检测窗口；与现有技术相比，本发明在原料中加入了酚类抗氧化剂，不仅具有脱泡效果，还能抑制和延缓窗口的氧化降解，进而延长窗口使用寿命，有效改善窗口的透光性和抗老化性能。
主权项：1.一种抛光垫检测窗口的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：a配制原料混合物，所述原料混合物中各组分的重量配比为：聚醚二醇44～47份，芳香族异氰酸酯9～11份，脂肪族异氰酸酯25～28份，胺类扩链剂8～11份，二元醇4～6份，酚类抗氧剂0.1～0.7份；b对所述原料混合物进行真空脱泡处理，得到脱泡混合物；c对所述脱泡混合物进行固化成型和硫化处理，得到硫化样品；d对所述硫化样品进行切片，得到检测窗口。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海芯谦集成电路有限公司 一种抛光垫检测窗口及其制备方法
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