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申请/专利权人：苏州赛源光学科技有限公司
摘要：本发明公开了一种近紫外线多波段高功率直写光刻镜头，所述成像部共包括九片透镜，所述九片透镜自物面至像面依次为：第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜以及第九透镜，第一透镜的焦距为f1，所述第二透镜的焦距为f2，所述第三透镜的焦距为f3，所述第四透镜的焦距为f4，所述第五透镜焦距为f5，所述第六透镜焦距为f6，所述第七透镜的焦距为f7，定义所述第八透镜的焦距为f8，定义第九透镜焦距f9，定义所述第十透镜的焦距为f10，定义第十一透镜焦距f11，定义所述第十二透镜的焦距为f12通过本发明中的透镜结构应用在直写光刻镜头中具有高功率、高精度、均匀性好，且满足低畸变的特性。
主权项：1.一种近紫外线多波段高功率直写光刻镜头，包括镜头壳体，所述镜头壳体设有入射口、出射口、反射口，以及位于其内部设有反射组件，位于镜头壳体外侧对应反射口的位置设有DMD芯片，出射口的位置设有成像部，其特征在于：所述成像部共包括十二片透镜，所述九片透镜自物面至像面依次为：第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜、第十透镜、第十一透镜以及第十二透镜；定义所述第一透镜的焦距为f1，定义所述第二透镜的焦距为f2，定义所述第三透镜的焦距为f3，定义所述第四透镜的焦距为f4，定义所述第五透镜焦距为f5，定义所述第六透镜焦距为f6，定义所述第七透镜的焦距为f7，定义所述第八透镜的焦距为f8，定义第九透镜焦距f9，定义所述第十透镜的焦距为f10，定义第十一透镜焦距f11，定义所述第十二透镜的焦距为f12；满足下列关系式：f1=0mm；f2=0mm；112mm≤f3≤114mm；77mm≤f4≤80mm；-119mm≤f5≤-117mm；-29mm≤f6≤-25mm；25mm≤f7≤28mm；-24mm≤f8≤-23mm；42mm≤f9≤45mm；-98mm≤f10≤-97mm；337mm≤f11≤339mm；f12=0mm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州赛源光学科技有限公司 一种近紫外线多波段高功率直写光刻镜头
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