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申请/专利权人：上海新毅东半导体科技有限公司
摘要：本申请涉及光刻机通风设备领域，具体涉及一种光刻机通风气路装置，其包括：第一过滤腔，第二过滤腔，第三过滤腔，第四过滤腔以及进风管路；所述进风口通过进风管路将气体通入第一过滤腔、第二过滤腔、第三过滤腔以及第四过滤腔，所述第一过滤腔、第二过滤腔、第三过滤腔均固定于光刻机壳体的内壁顶部端面，所述第四过滤腔固定于光刻机壳体的内壁侧面，其中，所述第一过滤腔以及第三过滤腔分别位于光刻机物镜正上方，所述第二过滤腔位于掩膜台正上方，所述第四过滤腔的出风口正对硅片工作台；在所述第一过滤腔内斜向设置有导流板，导流板采用圆形孔或腰形孔的开孔设计，根据光刻机各分系统散热需求，能够有效平衡空气通过各高效过滤器的流量，达到有效散热的目的，以减小零部件的温度梯度变化从而提高光刻精度。
主权项：1.一种光刻机通风气路装置，其特征在于，包括：第一过滤腔，第二过滤腔，第三过滤腔，第四过滤腔，进风口以及进风管路；所述第一过滤腔、所述第二过滤腔、所述第三过滤腔均设置在光刻机壳体的内壁顶部，并与所述光刻机的顶壁可拆卸式固定连接，所述进风口通过管路向所述第一过滤腔、所述第二过滤腔、所示第三过滤腔内供入冷却气体，所述第一过滤腔、所述第二过滤腔、所述第三过滤腔出风口设置在各自腔室的下端面，且所述第一过滤腔和所述第三过滤腔分别置于所述物镜正上方的左右两侧，所述第二过滤腔设置在掩膜台的正上方；所述第四过滤腔设置在所述光刻机壳体的侧面，所述第四过滤腔的出风口水平设置，所述第四过滤腔的出风口正对光刻机内部的硅片工作台；所述第一过滤腔、所述第二过滤腔、所述第三过滤腔、所述第四过滤腔的出风口处分别设置有过滤器；所述进风口沿水平方向向所述过滤腔内供气或所述进风口送气的气流方向与水平方向呈夹角进入所述第一过滤腔和或所述第二过滤腔和或第三过滤腔和或所述第四过滤腔；在所述第一过滤腔、所述第二过滤腔、所述第三过滤腔、所述第四过滤腔的腔室上端面设置有盖板。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海新毅东半导体科技有限公司 一种光刻机通风气路装置
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