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申请/专利权人：深圳铱加科技有限公司;深圳银谷建科网络有限公司
摘要：本发明所涉及的薄膜光波导，包括硅基衬底、设置在硅基衬底上的包层、以及设置在硅基衬底上的光波导芯层，光波导芯层设于包层之中并且光波导芯层折射率高于包层的折射率，光波导芯层包括双层光波导介质薄膜以及设置于双层光波导介质薄膜之间的薄膜材料夹层，薄膜材料夹层为二维晶格亚波长结构，二维晶格亚波长结构的有效晶格常数和占空比在同一传播方向上具有至少一个数值，以使薄膜光波导的有效折射率在同一传播方向上具有至少一个数值。该薄膜光波导克服工艺和材料的限制，实现在同一传播方向上具有可变的有效折射率，满足复杂的设计和应用情景，降低了可变有效折射率薄膜光波导的制作难度。
主权项：1.一种薄膜光波导，包括硅基衬底以及设置在所述硅基衬底上的包层，其特征在于，所述薄膜光波导还包括设置在所述硅基衬底上的光波导芯层，所述光波导芯层设于所述包层之中并且所述光波导芯层折射率高于所述包层的折射率，所述光波导芯层包括双层光波导介质薄膜以及设置于所述双层光波导介质薄膜之间的薄膜材料夹层，所述薄膜材料夹层为二维晶格亚波长结构，所述二维晶格亚波长结构的有效晶格常数和占空比在同一传播方向上具有至少一个数值，所述二维晶格亚波长结构的所述有效晶格常数和所述占空比在同一传播方向上具有至少两个呈连续变化的数值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳铱加科技有限公司 深圳银谷建科网络有限公司 薄膜光波导及其制备方法
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