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申请/专利权人：西安中星测控有限公司
摘要：本发明公开了一种基于MCS技术的平面压力传感器及其制备方法，所述方法包括：步骤S100：获得弹性钢板；步骤S200：用粘接剂将箔材料粘贴在所述弹性钢板的背面；步骤S300：在高压、高温、高真空环境下一段时间后，把所述箔材料、所述粘接剂、所述弹性钢板热压融合在一起；步骤S400：在所述弹性钢板的正面均匀加工M个盲孔；步骤S500：在所述箔材料上均匀蚀刻M个惠斯通电桥，获得所述平面压力传感器；其中，M个所述盲孔与M个所述惠斯通电桥一一对应，所述盲孔的圆心与所述惠斯通电桥的中心同轴；M≥2，且为正整数。达到了简化加工复杂度、可重复利用，提高测量精度的技术效果。
主权项：1.一种基于MCS技术的平面压力传感器的制备方法，其特征在于，所述方法包括：步骤S100：获得弹性钢板；步骤S200：用粘接剂将箔材料粘贴在所述弹性钢板的背面；步骤S300：在高压、高温、高真空环境下一段时间后，把所述箔材料、所述粘接剂、所述弹性钢板热压融合在一起；步骤S400：在所述弹性钢板的正面均匀加工M个盲孔；步骤S500：在所述箔材料上均匀蚀刻M个惠斯通电桥，获得所述平面压力传感器；其中，M个所述盲孔与M个所述惠斯通电桥一一对应，所述盲孔的圆心与所述惠斯通电桥的中心同轴；M≥2，且为正整数；其中，所述盲孔底部与所述背面之间的距离为第一厚度，所述第一厚度与所述平面压力传感器的量程相对应；其中，在步骤S200之前，所述方法还包括：分别对所述弹性钢板、所述箔材料进行热处理；其中，在步骤S500之后，所述方法还包括：对每个所述惠斯通电桥输出的零点和灵敏度进行调整。
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权利要求：
百度查询： 西安中星测控有限公司 一种基于MCS技术的平面压力传感器及其制备方法
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