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申请/专利权人：东莞市科盛机电设备有限公司;深圳市科和盛业技术有限公司
摘要：本实用新型公开了一种射频平面阴极及射频镀膜设备，其包括屏蔽板、磁靴组件和导电连接件，磁靴组件安装在屏蔽板的一侧，屏蔽板远离磁靴组件的一侧用于接入射频电源，导电连接件设置在屏蔽板的端部，导电连接件分别与屏蔽板和磁靴组件相接触，并向远离屏蔽板的方向延伸，导电连接件用于与外部导电板电连接。当将射频阴极平面与外部导电板安装在一起时，导电连接件夹设在屏蔽板和外部导电板之间，分别与屏蔽板和外部导电板相接触，将屏蔽板和磁靴组件处的射频电能传输至外部导电板，导电更加稳定和可靠。
主权项：1.一种射频平面阴极，其特征在于，包括屏蔽板、磁靴组件和导电连接件，所述磁靴组件安装在所述屏蔽板的一侧，所述屏蔽板远离所述磁靴组件的一侧用于接入射频电源，所述导电连接件设置在所述屏蔽板的端部，所述导电连接件分别与所述屏蔽板和磁靴组件相接触，并向远离所述屏蔽板的方向延伸，所述导电连接件用于与外部导电板电连接。
全文数据：
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