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申请/专利权人：东莞市科盛机电设备有限公司;深圳市科和盛业技术有限公司
摘要：本实用新型公开了一种射频平面阴极及射频镀膜设备，其包括射频接电柱、射频输出组件、屏蔽板和磁靴组件，射频输出组件包括绝缘固定座、导电柱和射频调节滑座，通过在屏蔽板的内侧安装磁靴组件，磁靴组件用于连接靶材；屏蔽板的外侧设置绝缘固定座，导电柱安装在绝缘固定座上，射频调节滑座套设在导电柱上，导电柱与射频接电柱连接，射频接电柱将外部射频电源引入至导电柱处；当射频镀膜时出现薄膜厚度不均匀时，通过滑动射频调节滑座，可以改变射频调节滑座与射频接电柱之间射频传输路径的长度，即改变射频调节滑座处的射频功率，保证靶材表面的电场强度均匀，靶材均匀消耗，使得镀膜厚度更均匀。
主权项：1.一种射频平面阴极，其特征在于，包括射频接电柱、射频输出组件、屏蔽板和磁靴组件，所述射频接电柱用于传输射频电源，所述射频接电柱连接有至少一个所述射频输出组件，所述射频输出组件设置在所述屏蔽板的外侧，所述磁靴组件安装在所述屏蔽板的内侧；所述射频输出组件包括绝缘固定座、导电柱和射频调节滑座，所述绝缘固定座设置在所述屏蔽板上，所述导电柱的两端安装在所述绝缘固定座上，所述导电柱的中部连接所述射频接电柱，所述射频调节滑座成对套设在所述导电柱的两侧，并可沿所述导电柱滑动，所述射频调节滑座与所述屏蔽板相接触。
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