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申请/专利权人：江西兆驰半导体有限公司
摘要：本实用新型提供一种SiC托盘清洗装置，包括闭合轨道、夹爪、及驱动夹爪沿闭合轨道滑动的驱动组件，夹爪用于夹取将SiC托盘，在夹爪的下方、沿闭合轨道的布置方向依次设有溶液槽、水槽和烘干槽，溶液槽用于盛载清洗溶液，水槽用于盛载清水，在夹爪上设有伸缩组件，伸缩组件用于控制夹爪的竖向伸缩，驱动组件驱动夹爪位于溶液槽、水槽和烘干槽时，伸缩组件控制夹爪竖向伸长，本实用新型通过夹爪夹紧待清洗的SiC托盘，使驱动组件带动夹爪沿着闭合轨道滑动，使得SiC托盘可以依次经过溶液槽化学清洗、经过水槽将溶液洗净、经过烘干槽将SiC托盘烘干由于没有使用清洗支架，清洗支架狭缝处的SiC托盘也能得到清洗，且避免了将SiC托盘放入清洗支架可能导致托盘破损。
主权项：1.一种SiC托盘清洗装置，其特征在于，包括闭合轨道、夹爪、及驱动所述夹爪沿所述闭合轨道滑动的驱动组件，所述夹爪用于夹取将所述SiC托盘，在所述夹爪的下方、沿所述闭合轨道的布置方向依次设有溶液槽、水槽和烘干槽，所述溶液槽用于盛载清洗溶液，所述水槽用于盛载清水，在所述夹爪上设有伸缩组件，所述伸缩组件用于控制所述夹爪的竖向伸缩，所述驱动组件驱动所述夹爪位于所述溶液槽、水槽和烘干槽时，所述伸缩组件控制所述夹爪竖向伸长。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江西兆驰半导体有限公司 一种SiC托盘清洗装置
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