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申请/专利权人：西安航天动力研究所;西安交通大学
摘要：本发明公开了一种绝压‑表压一体的多量程压力传感器及其制备方法，属于压力传感器技术领域，该传感器包括压力芯体、低量程表压键合玻璃和高量程绝压键合玻璃，压力芯体包括硅结构，硅结构下部刻蚀有第一凹槽，第一凹槽中设置至少一个中空岛，第一凹槽顶面为低量程表压敏感膜片，最中间的中空岛内区域顶面为高量程绝压敏感膜片，高量程绝压敏感膜片上设置有电阻；最中间的中空岛与高量程绝压键合玻璃键合，形成真空密封的中空腔体，硅结构和低量程表压键合玻璃键合形成与大气相通的常压腔体。本发明解决了现有多量程传感器集成尺寸大、无法同时进行表压和绝压测量的问题，扩展了测量范围又不会损失低量程的灵敏度。
主权项：1.一种绝压-表压一体的多量程压力传感器，其特征在于：包括压力芯体、低量程表压键合玻璃3和高量程绝压键合玻璃4，所述压力芯体包括硅结构2，所述硅结构2下部刻蚀有第一凹槽，所述第一凹槽中设置至少一个中空岛23，所述中空岛23将第一凹槽空间进行分隔，所述第一凹槽顶面为低量程表压敏感膜片22，最中间的中空岛23内区域顶面为高量程绝压敏感膜片21，所述高量程绝压敏感膜片21上设置有电阻1；最中间的中空岛23与高量程绝压键合玻璃4键合，形成真空密封的中空腔体24，所述硅结构2和低量程表压键合玻璃3键合形成常压腔体5，所述常压腔体5通过低量程表压键合玻璃3上的通孔与大气相通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安航天动力研究所 西安交通大学 一种绝压-表压一体的多量程压力传感器及其制备方法
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