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申请/专利权人：中国科学院空天信息创新研究院
摘要：本发明提出了一种基于体积压缩原理的大量程谐振式压力传感器。相比传统的梁膜一体化结构，本发明利用体积压缩敏感原理，避免应力集中，提升耐压强度；通过对双谐振器的微支撑梁差异化设计实现两谐振器具有不同的压力灵敏度，进行双频解算，构建温度原位补偿的压力测量机制，提高高压测量时的精度。
主权项：1.一种基于体积压缩原理的大量程谐振式压力传感器，其特征在于：包括敏感芯体，所述敏感芯体由上到下依次由衬底层、埋氧层、器件层和硅盖板组成；所述衬底层、埋氧层和器件层共同组成SOI硅片；所述器件层上制备有谐振器、电极和接线端子；所述电极包括驱动电极和检测电极，分别放置在谐振器两侧，构成静电激励电容检测方式；所述接线端子分别为驱动接线端子、检测接线端子和直流偏压接线端子，分别通过硅导线与驱动电极、检测电极和谐振器相连，需要绝缘的结构之间通过第一隔离槽分隔；所述接线端子中心位置所对应的衬底层和埋氧层被刻穿，形成引线孔；引线孔内制作有金属电极；所述硅盖板上制作有空腔，分别与两谐振器对应，提供谐振器的振动空间；所述硅盖板上另制作有第二隔离槽，尺寸和位置对应器件层上的第一隔离槽，保证各电极、接线端子间电气绝缘；所述谐振器由单谐振梁、微支撑梁和锚点组成，所述锚点分别与衬底层和硅盖板固连，外界压力导致压力传感器的体积压缩，所产生的应力由锚点传递到微支撑梁，再传递到单谐振梁。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院空天信息创新研究院 一种基于体积压缩原理的大量程谐振式压力传感器
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