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申请/专利权人：华东光电集成器件研究所
摘要：本发明提供一种晶圆传片夹持装置，其特征在于：它包括主板体（1），在主板体（1）上设有第一槽体（5），在第一槽体（5）的一端端部设有斜坡（11），在斜坡（11）一侧的第一槽体（5）槽壁上依次设有平面段（12）和斜面段（15），在主板体（1）上连接有可遮盖一部分第一槽体（5）的盖板（2），在盖板（2）上设有弧形台阶段（22），使得弧形台阶段（22）与第一槽体（5）之间形成晶圆传片的插槽（3）。本发明结构简单，使用方便，在确保了晶圆传片姿态稳定的前提下，提高了离子注入时整个工作效率。
主权项：1.一种晶圆传片夹持装置，其特征在于：它包括纵向分布的主板体（1），在主板体（1）上设有第一槽体（5），在第一槽体（5）的一端与主板体（1）的厚度端面连通，在该端设有斜坡（11），在斜坡（11）一侧的第一槽体（5）槽壁上从上到下依次设有平面段（12）和斜面段（15）；在第一槽体（5）下方的主板体（1）上连接有可遮盖一部分第一槽体（5）的盖板（2），在盖板（2）上设有弧形台阶段（22），使得弧形台阶段（22）与第一槽体（5）之间形成晶圆传片的插槽（3）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华东光电集成器件研究所 一种晶圆传片夹持装置
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