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申请/专利权人:常熟市华懋化工设备有限公司
摘要:本发明公开了一种圆柱型MO源钢瓶,具体涉及MO源封装容器领域,该圆柱型MO源钢瓶包括用于容纳MO源的钢瓶本体,钢瓶本体上端的两侧分别固定插接有进气管和出气管,钢瓶本体内侧的底部固定连接有集液斗,集液斗的中部为竖直朝下设置的直管部。本发明在钢瓶本体内的液体MO源充足时,使载气从出气孔排出,载气均匀分布于钢瓶本体的内部,从而保证能够充分地携带出气态MO源,当钢瓶本体内的液体MO源较少时,使载气管插入直管部的内部,并使载气从载气管与直管部之间的间隙向上携带液体MO源喷射,加大与钢瓶本体内部的气体接触,并快速吸热蒸发形成气态MO源,以此来保证载气所携带出的气态MO源的浓度保持在正常水平。
主权项:1.一种圆柱型MO源钢瓶,其特征在于:包括用于容纳MO源的钢瓶本体(1),所述钢瓶本体(1)上端的两侧分别固定插接有进气管(2)和出气管(3),所述钢瓶本体(1)内侧的底部固定连接有集液斗(11),所述集液斗(11)的中部为竖直朝下设置的直管部(12),所述钢瓶本体(1)的内部竖向设置有载气管(4),所述载气管(4)的上端与进气管(2)连通,所述载气管(4)的下端指向直管部(12);所述载气管(4)的外侧套设有固定套(5),所述固定套(5)的圆周方向均固定连接有固定管(51),所述固定管(51)的侧壁上开设有若干个出气孔(511);所述钢瓶本体(1)上设置有驱动组件(9),所述驱动组件(9)用于驱动载气管(4)竖向移动,当载气管(4)位于最高点时,载气管(4)与固定管(51)的内部连通,当载气管(4)位于最低点时,载气管(4)与固定管(51)的内部断开,并且载气管(4)的底部伸入直管部(12)的内部。
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