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申请/专利权人：上海大学
摘要：本发明提供一种放电等离子体型光源极紫外光功率的测量装置及方法，包括：对于DPP光源通过电极放电产生从x射线到可见光的宽谱带范围的椭球型光束进行滤波，形成设定谱带范围的光束；采用光谱仪对所述滤波器形成的设定谱带范围的光束进行检测，得到所述光束在谱带范围内的光强分布，通过面积积分计算得到极紫外光在谱带范围内的光功率占比；采用光电探测器将所述滤波器形成的设定谱带范围的光束的光功率信号转变为电流信号，并通过所述光电探测器内的响应曲线计算出在谱带范围内的光束总功率；根据所述光功率占比和所述光束总功率，计算得到极紫外光13.5nm，±2％功率。本发明测量结构简单且测量准确度高。
主权项：1.一种放电等离子体型光源极紫外光功率的测量方法，其特征在于，包括：对于DPP光源通过电极放电产生从x射线到可见光的宽谱带范围的椭球型光束进行滤波，形成设定谱带范围的光束；采用光谱仪对滤波后形成的设定谱带范围的光束进行检测，得到所述光束在所述谱带范围内的光强分布，通过面积积分计算得到不同波长的光在所述谱带范围内的光功率占比，包括13.5nm，±2％极紫外光在所述谱带范围内的光功率占比，以及除13.5nm，±2％极紫外光外的剩余的各波长的光在所述谱带范围内的光功率占比；采用光电探测器将滤波后形成的设定谱带范围的光束的光功率信号转变为总的电流信号，并通过所述光电探测器内的电流、总功率和波长的响应曲线得到不同波长对总电流的贡献能力，根据不同波长的电流贡献能力乘上总功率再乘上代表波长处相应的功率占比得到对应不同的波长的多个结果，将多个结果相加计算出在谱带范围内的光束总功率；根据所述不同波长的光在所述谱带范围内的光功率占比和所述光束总功率，计算得到13.5nm，±2％极紫外光功率。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海大学 一种放电等离子体型光源极紫外光功率的测量装置及方法
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