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申请/专利权人：沈阳广泰真空科技股份有限公司
摘要：本发明涉及真空扩散技术领域。本发明公开了一种扩散系统及扩散方法，其中，系统包括：扩散装置、冷却装置、进出料装置和控制平台；扩散装置、冷却装置和进出料装置分别与控制平台之间电性连接或无线通讯连接；控制平台用于控制冷却装置从进出料装置中获取物料，还用于控制冷却装置将获取的物料送至扩散装置中进行扩散，还用于控制冷却装置从扩散装置中获取扩散后的物料，并对扩散后的物料进行冷却，还用于控制冷却装置将冷却后的物料送至进出料装置中。本发明中冷却装置能够在进出料装置和扩散装置之间运行，完成物料的运输、扩散和冷却，冷却装置和扩散装置独立设置，满足扩散装置中温度的一致性要求及快速冷却的要求。
主权项：1.一种扩散系统，其特征在于，包括：扩散装置、冷却装置、进出料装置和控制平台；所述扩散装置、所述冷却装置和所述进出料装置分别与所述控制平台之间电性连接或无线通讯连接；所述控制平台用于控制所述冷却装置从所述进出料装置中获取物料，还用于控制所述冷却装置将获取的所述物料送至所述扩散装置中进行扩散，还用于控制所述冷却装置从所述扩散装置中获取扩散后的物料，并对扩散后的所述物料进行冷却，还用于控制所述冷却装置将冷却后的物料送至所述进出料装置中。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 沈阳广泰真空科技股份有限公司 一种扩散系统及扩散方法
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