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申请/专利权人：深圳市森美协尔科技有限公司
摘要：本申请提供了一种删除晶圆图中的PCM区域的方法及相关装置，方法包括：获取晶圆图中PCM区域与芯片的排布方式；在排布方式为PCM区域围绕芯片排布的情况下，获取晶圆图的中心芯片的目标图像信息；获取经过中心芯片的多条目标直线；针对多条目标直线中的每条目标直线执行以下操作：根据中心芯片和当前目标直线确定标准芯片，标准芯片对应的图像信息与目标图像信息相同，且标准芯片经过当前目标直线并与中心芯片的距离最近；确定中心芯片与标准芯片的距离为标准距离；根据当前目标直线、目标图像信息和标准距离确定当前目标直线对应的PCM区域；删除当前目标直线对应的PCM区域。可以提高对晶圆图中的PCM区域的删除的效率。
主权项：1.一种删除晶圆图中的PCM区域的方法，其特征在于，包括：获取所述晶圆图中PCM区域与芯片的排布方式；在所述排布方式为所述PCM区域围绕所述芯片排布的情况下，获取所述晶圆图的中心芯片的目标图像信息；获取经过所述中心芯片的多条目标直线；针对所述多条目标直线中的每条目标直线执行以下操作：根据所述中心芯片和当前目标直线确定标准芯片，所述标准芯片对应的图像信息与所述目标图像信息相同，且所述标准芯片经过所述当前目标直线并与所述中心芯片的距离最近；确定所述中心芯片与所述标准芯片的距离为标准距离；根据所述当前目标直线、所述目标图像信息和所述标准距离确定所述当前目标直线对应的PCM区域；删除所述当前目标直线对应的PCM区域。
全文数据：
权利要求：
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