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申请/专利权人：睿励科学仪器(上海)有限公司
摘要：本发明提供了自动聚焦装置、离焦距离确定方法及存储介质。自动聚焦装置包括多通道光源、第一光栅掩模、显微物镜、第一分光元件、第二光栅掩模、第一多象限探测器、第二多象限探测器及处理器。多通道光源提供多通道照明光束。显微物镜将多通道照明光束经过第一光栅掩模产生的第一图案投影到待测样品的表面，并收集待测样品的表面产生的反射光束。第一分光元件将反射光束分别传输到第一探测光路和第二探测光路。第二光栅掩模具有与第一光栅掩模不同的第二图案。第一多象限探测器采集其输出的第一光信号。第二多象限探测器采集第一分光元件向第二探测光路传输的第二光信号。处理器根据第一光信号与第二光信号的差异，确定待测样品的离焦距离。
主权项：1.一种用于半导体样品检测的自动聚焦装置，其特征在于，包括：多通道光源，用于提供多通道照明光束；第一光栅掩模，位于所述多通道照明光束的传输路径，以用作所述多通道照明光束的视场光阑；显微物镜，位于所述第一光栅掩模的后端，用于将所述多通道照明光束经过所述第一光栅掩模产生的第一图案投影到待测样品的表面，并收集所述待测样品的表面产生的反射光束；第一分光元件，位于所述显微物镜的后端，用于将所述反射光束分别传输到第一探测光路和第二探测光路；第二光栅掩模，位于所述第一探测光路，并具有与所述第一光栅掩模不同的第二图案；第一多象限探测器，位于所述第一探测光路的所述第二光栅掩模的后端，以采集其输出的第一光信号；第二多象限探测器，位于所述第二探测光路，以采集所述第一分光元件向所述第二探测光路传输的第二光信号；以及处理器，根据所述第一光信号与所述第二光信号的差异，确定所述待测样品的离焦距离。
全文数据：
权利要求：
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